Spektroskopia
W celu ustalenia składu chemicznego próbek, stosujemy różne spektrometry.
W przypadku spektrometrów iskrowych katoda wolframowa powoduje przeskok iskry do próbki, co powoduje atomizowanie niewielkiej części powierzchni próbki. Te wzbudzone atomy emitują światło o długości fali specyficznej dla elementu. Na podstawie rozkładu długości fal można z bardzo dużą dokładnością oznaczyć skład powierzchni próbki. Spektrometry są wykorzystywane np. w celu dokładnego monitorowania procesu nawęglania lub rejestrowania zmian materiału.
Optyczny spektrometr emisyjny z wyładowaniem jarzeniowym (GDOES) oferuje dodatkowo możliwość określania profili głębokości podziałów elementów do głębokości 100 µm. Jest on wykorzystywany przede wszystkim do badania procesów nitrowania.